真空ポンプのひとつです。
真空ポンプは、気体輸送式と気体溜め込み式とに分類されます。また、動作圧力範囲での分類として、低真空～中真空用ポンプと高真空～超高真空用ポンプに分けられます。低真空～中真空用ポンプには油回転ポンプ、ドライポンプがあり、高真空～超高真空用ポンプにはターボ分子ポンプ、クライオポンプ、スパッタイオンポンプ、油拡散ポンプがあります。

クライオポンプには次のような特徴があります。

当社はSICERA®とMarathon®の2つのタイプのクライオポンプを販売しています。

SICERA®とは、 S：Sumitomo I：Inverter integrated C：Cryopump with E：Energy R：Reduction A：Advantage を略した名前で、以下の特長があります。

1. 1個別制御が可能なマルチポンプシステム

   最大11台の8インチポンプを1台の圧縮機で運転可

2. 2高信頼性

   豊富なクライオポンプ用冷凍機の実績

3. 3高い省エネ効果

   当社製従来比△40%：10.3kW → 6.1kW（8インチポンプの8台運転時）

   ※上記数値は参考値です。使用状況によって変動します。

4. 4Arガス吸蔵量

   当社製従来比2倍：8インチタイプで1,000リットル → 2,000リットル

もうひとつのクライオポンプであるMarathon®は、米国拠点の Sumitomo(SHI) Cryogenics of America, Inc. が生産しており、以下の特長があります。

1. 1

   独自のパネルデザイン

2. 2

   大きな水素ガスの排気容量

3. 3

   長い再生サイクルと短い再生時間

4. 4

   8-20インチサイズまで幅広い対応可能

世界中のお客様を支援するために、販売・サービス・製造のグローバル・ネットワークを構築し、共通の品質と性能の提供に努めています。